率不稳则会在晶圆上形成难以预测的缺陷。”
“第二个，也是更加棘手的是随之而来的热管理和热变形问题。”顾北舟翻到下一页，上面是复杂的热力学模拟图，“高功率激光轰击锡滴产生等离子体的过程，会释放巨大热量。这些热量不仅对收集光学元件的涂层寿命是严峻考验，更关键的是会引起光学系统乃至整个工件台的微观热变形。哪怕是纳米级别的形变，也足以让光刻精度前功尽弃，导致线路模糊或错位。目前我们的冷却系统效率根本跟不上热积累的速度。”
江岚的神情逐渐凝重起来，这的确是困扰她团队数月、让她寝食难安的核心瓶颈。
顾北舟点出的这些不仅准确概括她遇到的难题，还意识到了连锁反应的严重性。
江岚意识到，能分析到这一步，恐怕顾北舟是真的研究出了什么不得了的成果。
她迫不及待得身体前倾着急询问：“那你提出的解决思路是？”
顾北舟从容得翻到文件后方解决方案的部分：“针对光源问题，我设想了一种多级预脉冲激光优化方案。通过调整主脉冲激光之前的一系列微弱的预脉冲序列，可以更精确地控制锡滴的形状和分布，使其在受到主脉冲冲击时，能更高效地转化为理想的等离子体状态，理论上可以提升约15%的光源功率和显著改善稳定性。相关参数模拟和初步算法都在附录里。”
“至于热管理，”顾北舟声音沉稳，眼神中闪烁着自信的光芒，“我认为可以引入一种基于相位改变材料的主动式微循环散热系统。在关键的热积聚点，比如收集镜座内部，嵌入微型的pcm胶囊。当温度升高至材料熔点时，pcm吸收大量热量熔化；当系统冷却时，它又凝固放热。这种‘潜热’吸收方式，可以非常高效地平滑温度峰值，再配合优化后的微流体通道进行热量交换，能将光学元件的热变形控制在皮米级别。材料的筛选、微型化结构设计以及系统集成方案，我也做了初步的可行性分析和模拟验证。”
他娓娓道来，提出了目前整理出的最先进、最创新且具体的解决方案。
江岚越听眼睛越亮，这些想法无疑直接切中要害，让她有种柳暗花明又一村的感觉。
江岚激动得攥紧手中那份沉甸甸的文件，手指发颤得快速翻阅着里面详实的数据、复杂的公式和大量的模拟实验结果图表。
“这舟舟，你知道你研究的这些意味着什么吗？你解决的很可能是当今国际上最前沿的光刻机技术难题，在你之前
点击读下一页,继续阅读 格格叶 作品《换专业考研后，师姐们跪求带飞》701 解决难题