结构示意图。
3月5日，元件五厂的小会议室里烟雾缭绕。二十多名工程师挤在狭小的空间里，有人甚至坐在窗台上，膝盖上摊开着笔记本。陈樾在黑板上画着复杂的光路图，粉笔灰落在他的黑皮鞋上，积了薄薄一层。汗水浸透了中山装的后背，在暖气不足的房间里冒着淡淡的白气。
"毛熊的光刻机用的是汞灯光源，鹰酱这台是激光的..."陈樾边说边擦汗，袖口已经沾满了粉笔灰。角落里，两个老工程师为了一个光学参数争得面红耳赤，茶杯都被碰翻了，褐色的茶渍在图纸上晕开，像一幅抽象的水墨画。
会议一直开到深夜，食堂送来的肉包子已经凉了，表皮变得硬邦邦的。但没人离开，有个戴眼镜的女技术员甚至趴在图纸上睡着了，手里还攥着半块没吃完的馒头，眼镜歪在一边，镜片上沾着指纹。
5月15日凌晨，第一台国产光刻机终于组装完成。实验室里挤满了人，有个身材瘦小的技术员不得不站在工具箱上才能看清操作台。当电源接通的那一刻，氙灯光源发出的刺眼蓝光透过复杂的光学系统，在暗室里划出一道锐利的光路，照亮了每个人紧张而期待的面庞。
"激光干涉仪校准完成！"负责测量的工程师老张盯着读数显微镜，声音有些发颤。他额头上的汗珠在冷光源照射下闪闪发亮，握着调节旋钮的手指关节因用力而发白。
陈樾俯身在测量显微镜前，看到硅片上的线条边缘像刀切般整齐。他轻轻旋转微调旋钮，十字准线对准刻线边缘，读数鼓轮显示出的数值让他的手微微一抖——10微米。这个数字正好是他们设计指标的极限值，意味着这台机器已经达到了世界先进水平。
"重复测量三次，误差不超过0.2微米。"检测组长大声报告，手里的记录本哗啦作响。他的白大褂袖口沾着显影液，已经洗得发黄了，胸前的口袋里插着三支不同颜色的铅笔。
王师傅挤到前面，用粗糙的手指小心翼翼地捏起那片硅片，对着灯光观察。晶圆上的电路图案像蛛网般精密，阳光透过时在地上投下细密的影子网格，宛如未来科技的蓝图。
"成了！"他突然大喊一声，声音震得天花板上的灰尘簌簌落下。这个平常沉默寡言的老工人一把抱住身边的年轻技术员，后者眼镜都被撞歪了，却也跟着又哭又笑。有人从柜子里拿出珍藏的茅台，倒进搪瓷缸里，大家轮流啜饮，每个人的眼睛里都闪着泪光。
5月16日，河北半导体研究所连夜送来的高纯度硅
点击读下一页,继续阅读 深仨品 作品《鹰酱放了一个疯子，兔子挺起脊梁》第108章 光刻机