以较大的动量进行物理刻蚀，同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应，产生化学刻蚀作用。
因为一个很简单的道理，技术越往后发展，所受到的掣肘也就越大，需要避开的东西也就越多。
而现在，尹之耀的面前就有这些仪器。
因为他已经确定了，王东来的这份蚀刻方案确实是合格的，甚至是优秀。
而尹之耀则是第一时间，想要进去看看结果如何，便看向王东来准备出声征求意见。
不得不说，在面对这方面的时候，尹之耀表现出来的热爱，极为真诚和热烈。
操作人员再三检查无误之后，陈凌岳便下令开始验证起来。
刻蚀方案已经出现过了那么多种，后来人想要避开，所需要的知识储备就要更多，设计也就需要更加精妙。
现代的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空装置，同时还配备有自动化的刻蚀终点检测和控制装置，价格昂贵，很少有实验室会完全配备。
单单只是一个刻蚀流程，其实并不需要耗费多长时间。
不等尹之耀说出口，王东来便点了点头，说道：“尹总是这方面的专家，可以检查一下！”
等到见到实验项目的时候，尹之耀就变得无比认真起来。
这一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下来放到上面去看，免得错过任何一点关键信息。
但实际上并不是这样。
王东来当时在构思方案的时候，原本是想着弄出一份离子蚀刻方案就行了，但是在大脑超频的状态下，灵感无数，便研究出了一份全新的反应离子刻蚀方案。
看了王东来的论文之后，尹之耀已经认定王东来是这方面的天才了。
至于反应离子刻蚀的原理倒也算简单。
在设计好之后，便发给了陈凌岳，让他在实验室里进行验证。
足足检测了半個小时。
而越看，尹之耀越是惊叹。
所以，很快仪器就停了下来。
经过差不多两天的设备调校，今天便是验证的时间了。
一路无话，很快就到了地方。
机器轻轻地嗡鸣地响了起来，顿时就见到仪器开始运动起来。
放下成品后，尹之耀的眼神无比明亮。
王东来充满自信，丝毫不怕会出什么问题。
“嗡！”