面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。
巧妇难为无米之炊。
拿着nxt1980di当euv3300用，真是太强人所难。
不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。
当然，2011年nxt1980di还没有发布。
王逸当下能买到的光刻机型号，是2009年推出的nxt：1950i，和今年刚推出的nxt：1960bi。
其实1950i1960bi1970ci1980di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38nm以上，多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm，甚至7nm。
后续的nxt：1960bi、1970ci、1980di，不过是在nxt：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，很多都是用的nxt：1950i！
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候，nxt：1980di光刻机才开始量产！
7nm之前的制程，三星台积电用的都是1950i、1960bi、1970ci等老型号。
只要不量产7nm，都没压力。
同样，王逸的12英寸晶圆厂，若是买到nxt：1950i和1960bi，也能从明年的28nm，一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，甚至7nm。
但今年刚出的1960bi不太现实，估计阿斯麦不卖。
不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。
当下欧美对国内的封锁限制，还不是那么严密。
若是趁机出手，多订一批，那后续就高枕无忧了。
哪怕溢价买，都不成问题！
王逸记得，前世euv光刻机要1.2亿美金，1980di要7200万美金。
而当下的1950i估计会便宜一些。
为此，王逸拿出手机，开始查数据。
果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是3.5亿人民币。
进上十台，就是35亿。
20台就是70亿！
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