远的影响,虽然退居二线,但在公司还有巨大的权威。
尼康美国研究公司是尼康半导体公司的子公司,主要从事半导体光刻机相关的研究和开发公司。
“虽然如今157nm干式光刻机的制程工艺低于134nm浸没式光刻机,但干式光刻环境相对简单,不需要考虑液体介质的纯度、流动性、对光刻胶和晶圆的影响等相关问题,工艺控制相对容易,设备的维护和保养也相对简单一些;公司在157nm干式光刻路线上投入了近10亿美元巨资,掌握了核心技术,领先全球,虽然暂时处于劣势,但我们可以沿着既定的技术路线稳步推进,只要能率先研发成功45nm制程工艺的干式光刻机,就能一举扭转我们被动的现状,继续引领光刻机的发展方向;我们现在重新投入巨资开始研发浸没式光刻机,除了一直追赶bsec和asml外,也将面临bsec拥有的多项核心技术专利限制,如浸没式双工作台系统核心技术专利,流体处理系统核心技术专利、折返式投影核心技术专利、纯净水介质核心专利,要是bsec不给我们授权纯净水介质核心专利,请问诺利克先生如何解决纯净水介质核心专利难题?”
尼康半导体公司会长兼ceo森佳照明在尼康公司拥有超过25年的经验,在美国、欧洲和韩国的销售和营销方面担任过高层,深得前会长吉田一郎的赏识。
“会长,我听说,asml如今等待bsec的国际纯净水介质核心专利通过后授权,既然bsec同意授权asml,就会授权我们,bsec当年拿到双工作台系统的国际专利后也授权给了我们。”
“诺利克先生,彼一时此一时,如今bsec的技术实力快赶上了我们,独霸全球65nm制程工艺的市场份额,正是超过我们的最好时机,我们不能抱有侥幸心理。”
“我支持会长的意见,既然我们已经掌握了多项157nm干式光刻路线的核心技术,引领全球,我们还要加大投资,争取早日研发成功45nm制程工艺,就能重新夺回被bsec抢走的高端芯片市场份额。”
尼康半导体公司副总裁兼尼康光刻机半导体研究所所长小川郁子,负责开发157nm干式光刻机的研发,支持森佳照明。
“大家都知道,公司到如今还没有预定一台157nm干式光刻机,65nm制程工艺的市场份额已经被bsec和asml瓜分,我听说gca正在游说三星晶圆厂购买其量产的浸没式光刻机,我们面临的情况非常糟糕。我建议公